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  • 科目:化学
  • 题型:简答题
  • 难度:中等
  • 人气:202

高纯CO可用于半导体领域某些芯片的刻蚀,利用甲酸(HCOOH)制取高纯CO的主要流程如图:

(1)甲酸中碳元素和氧元素的质量比为        

(2)反应塔中甲酸分解的微现示意图如图,在方框中补全另一种产物的微粒图示   

(3)反应塔中发生副反应产生微量CO2。洗涤器中加入NaOH溶液的目的是中和未反应的甲酸蒸气,并除去CO2,NaOH与CO2反应的化学方程式为                  

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高纯CO可用于半导体领域某些芯片的刻蚀,利用甲酸(HCOOH